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Sputter-Coater high vacuum coating system

for thin film deposition

tectra erweitert seine erfolgreiche Serie von kleinen Hochvakuum Beschichtungssystemen. Neben dem seit 1997 lieferbaren Mini-Coater, der vor allem für thermische Beschichtungen und/oder Elektronenstrahlverdampfung konzipiert ist, kommt jetzt der 'Sputter-Coater'.

Der Sputter-Coater ist speziell für Magnetron Sputter-Beschichtung ausgelegt, kann aber problemlos auch mit thermischen Verdampfern (Schiffchen oder Tiegel) und dem e--flux Mini-Elektronenstrahlverdampfer ausgerüstet werden (siehe unten). Er ist somit ein sehr vielseitiges, kompaktes und bedienungsfreundliches System zum Erzeugen von dünnen Schichten.

Die Kammer hat einen Durchmesser von Ø300mm. Die große Schnellöffnungsklappe hat ebenfalls einen Innen-Ø300mm und ermöglicht somit den uneingeschränkten Zugriff auf den vollen Kammer-Durchmesser. Gerade beim Target- bzw. Proben-Wechsel, bei Umbauten oder Nachfüllen der Verdampfer ist dies sehr vorteilhaft.

Die Kammer ist mit mehreren Zusatzports ausgerüstet. Das Kammer-Top hat einen CF-160er Port, der z.B. einen Probenhalter bzw. -manipulator oder eine Probenheizung aufnehmen kann. Seitlich befinden sich serienmäßig 4 CF-35er Ports z.B. für Quarz-Mikrowaage, Gas-Einlaßsystem oder Masken-Handling. In den Bodenflansch werden die Beschichtungsquellen integriert.

Als Pumpsystem ist standardmäßig eine Turbomolekular-Pumpe mit Membran-Vorpumpe vorgesehen. Das Vakuum-Meßsystem ist eine 'fullrange gauge'.

Sputter Coater (Gesamtansicht)Gesamtansicht mit Zusatz-Rack für Magnetron- und Elektronstrahlverdampfer-Netzteile
Sputter Coater mit Sputter MagnetronMagnetron

Innenansicht mit thermischen Verdampfer, Elektronenstrahlverdampfer und Magnetron
SpuCo Baseplate mit thermischen Verdampfer, Magnetron und

Mini-Elektronenstrahlverdampfer. Verdampfer jeweils mit Shutter.

 

SpuCo Abmessungen

Abmessungen
 
 

Probenhalter mit motorisiertem Drehteller (Option)
 

Optional erhältlich: Probenhalter mit motorisiertem Drehteller.



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  last update: 21.9.01
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